喜开理CKD电空减压阀安装及使用

喜开理CKD电空减压阀安装及使用

主要特点:
流体通路部、快插接头均以无润滑脂为标准规格。 适用于禁油用途。
【节能机构】
采用可变常时释放机构。
可设定与使用压力相匹配的少耗气量。
采用禁油规格•不锈钢阀体，半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。
另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。
在低压范围实现高灵敏度控制】
设定压力为低压用时0.01〜0.2MPa，标准时0.02〜0.5MPa。
灵敏度为0.001MPa。
采用特殊膜片结构，实现了低压范围内的高灵敏度调整。
确保在室外使用的耐久性。
外罩，压力表插块的金属化，采用强化玻璃。
机能零件使用高耐腐蚀性零件。
防雨、防虫对策
配管连接时的密封带的缠卷方法是从配管螺纹前端起2mm以上的内侧位置开始顺螺纹方向和反螺纹方向缠卷。
实施精密清洗（气体接触部分），在洁净室内进行从组装到包装的。
接触气体部位不使用润滑脂。
【紧凑•大流量】
对边50mm的紧凑尺寸，并实现了0.8㎥/min的大流量。
（1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量）
【带可逆流功能】
具有排放1次侧压力时，2次侧压力向1次侧逆流的功能。
2次侧不残留压力，重视安全性。（不施加背压时）
●密封带从螺纹前端伸出的话，因螺纹的拧入，会将密封带切断，断片会进入空压元件内部，成为故障的原因。

喜开理CKD电空减压阀安装及使用